隨州市市場監管局助力兩項國家標準編制填補行業空白

荊楚網客戶端—荊楚網消息（通訊員 胡春雷、朱荔）8月6日，筆者從隨州市市場監管局獲悉，國家市場監管總局發布了2020年第17號中華人民共和國國家標準公告，由湖北晶星科技股份有限公司歷時四年主導起草編制的《電子工業用二氯硅烷》（GB/T38866-2020）、《電子工業用四氯化硅》(GB/T38867-2020)兩項國家標準正式發布，并將于2021年2月1日實施，這兩項標準由隨州市市場監管局助力起草。

據介紹，該兩項國家標準的發布實施，填補了我國兩類電子工業用氣體的標準空白，將為提高我國自主生產電子工業用氣體的能力，促進先進半導體材料制造業的迅速發展，提供技術依據和可靠保障，對有效提高企業標準話語權和知名度、提升企業核心競爭力也具有十分重要的意義。

高純二氯硅烷主要用于電子半導體、集成電路工業中硅外延及集成電路上氮化硅掩蔽膜和多晶硅膜等含硅薄膜的制備，是一種性能極佳的外延淀積材料；高純四氯化硅是光纖、光電傳感器生產的主原料，也用于集成電路的刻蝕工藝以及存儲器的薄膜工藝。我國從2015年已經打破技術壁壘，實現了這兩種產品的的產業化生產，產品純度可以達到99.99%以上。

但由于受標準缺乏等因素的制約，國內產能較小，主要依賴進口，無法滿足集成電路產業市場龐大的需求。為了適應先進半導體材料的迅速發展，提高我國自主生產電子工業用氣體的能力，湖北晶星科技股份有限公司2016年向國家標準化管理委員會提出申請并立項，由全國半導體設備和材料標準化技術委員氣體分會組織成立了標準起草小組，由湖北晶星科技股份有限公司主導起草編制上述兩項國家標準。

隨州市市場監督管理局對兩項標準的起草編制高度重視，分管領導親自帶隊赴北京、上海等地協調立項，參加標準審查討論，尋求省標準化技術機構的技術支持，全程跟蹤服務。起草小組聯合湖北省標準化與質量研究院、西南化工研究設計院有限公司、隨州市信息與標準化所等科研單位和企業，對國際、國內產品生產情況進行了深入調研和分析，將國外產品的企業標準和國內實際生產情況相結合編制標準草擬稿，先后于昆明、上海、武漢多次召開標準討論會，廣泛征求意見并反復開展驗證試驗，最終通過全國半導體設備和材料標準化技術委員氣體分會的標準審查，認為該兩項標準達到了國際同類產品先進水平。

隨州市市場監管部門表示，今后將堅決落實省、市關于加大力度優化營商環境、以“店小二”精神支持服務市場主體發展的各項舉措，忠實履行對市場主體的服務承諾，推動隨州企業有更多的標準話語權和競爭力，為隨州高質量發展貢獻力量。